Silic chloride được điều chế bởi sự khử các hợp chất silic như ferôsilicon, cacbonrunđum, các hỗn dược của dioxide và cacbon silic bằng khí chlor. Trong đó, khử ferôsilicon là cách điều chế phổ biến nhất.[2]

Trong phòng thí nghiệm, SiCl4 có thể được điều chế bằng cách xử lý silic với chlor:

Nó được Jöns Jakob Berzelius điều chế lần đầu tiên vào năm 1823.

Nước muối cô đặc có thể bị pha nhiễm với silica khi chlor chỉ là một sản phẩm phụ của quá trình tinh chế kim loại từ quặng chloride kim khí. Trong một số trường hợp hiếm, lượng silic dioxide trong silica biến chuyển thành silic chloride khi nước muối pha nhiễm bị điện phân.[3]